삼성전자와 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 손잡고 차세대 반도체 개발을 위한 연구소를 국내에 설립한다.

삼성전자와 ASML은 12일(현지시간) 네덜란드 ASML 본사에서 열린 ‘한국-네덜란드 반도체 협력 협약식’에서 극자외선(EUV) 공동 연구소 설립에 관한 업무협약(MOU)를 체결했다. 이날 협약식에는 안덕근 산업통상자원부(산업부) 통상교섭본부장과 이재용 삼성전자 회장, 최태원 SK회장, 제프리 반 리우웬 네덜란드 통상개발협력장관, 피터 베닝크 ASML 회장, 벤자민 로 ASM 회장 등이 배석했다.

연구소는 국내 수도권에 설립될 예정이다. 삼성전자와 ASML이 7억 유로(약 1조원)을 투자해 차세대 노광장비 개발을 추진한다. 각 사의 투자 금액은 비공개다.

ASML은 전세계에서 EUV 노광장비를 유일하게 생산하는 반도체 장비 기업이다. 노광 공정은 웨이퍼에 전자회로를 인쇄하는 과정이다. 미세공정 기술 수준이 높을수록 한 웨이퍼에서 더 많은 반도체를 생산할 수 있다. ASML의 EUV 노광장비는 반도체 초미세공정을 위해 꼭 필요하다.

SK하이닉스도 EUV 공정에서 전력 사용량과 탄소 배출을 줄이는 기술을 ASML과 공동 개발하는 협약을 체결하며 파트너십을 강화했다. EUV를 운용할 때 내부 오염원 제거 등에 쓰이는 수소 가스를 포집한 뒤 연료전지로 재활용해 전력화하는 기술을 ASML과 공동 개발하기로 했다.

ASML과의 긴밀한 파트너십을 구축, 국내 반도체 경쟁이 보다 강화될 것이라는 전망이다. 기업뿐만 아니라 정부도 ‘한·네 반도체 첨단 아카데미’ 신설을 위한 MOU를 체결했다. 아카데미가 신설되면 한국의 반도체 관련 학생들과 재직자들이 ASML 본사는 물론 에인트호벤 공대가 제공하는 교육 기회를 얻게 되어 EUV 등 첨단 장비 운영 노하우 및 관련 기술개발 역량을 키울 수 있게 될 것으로 기대된다.

안 본부장은 “삼성전자-ASML간 협력 발표는 치열해지는 반도체 초미세화 경쟁에서 우리나라가 우위를 확보하는 기반이 될 것”이라며 “SK하이닉스와 ASML이 공동 기술개발에 성공하여 보다 친환경적인 반도체 장비 생태계가 구축되기를 기대한다”고 밝혔다.

이소연 기자 soyeon@kukinews.com