[쿠키과학]"반도체 개념을 바꾼다"...IBS, 차세대 극소형 반도체 소자 개발
반도체 집적소자 소형화가 물리적 한계에 직면하면서 새로운 반도체 소재와 공정을 개발하기 위한 연구가 세계적으로 진행 중이다. 집적도는 반도체 칩 안의 소자가 얼마나 조밀한지를 나타내는 척도로, 집적도가 높을수록 공정 단가가 낮아지고 데이터를 더 빠르게 더 많이 처리할 수 있다. 현재 반도체 공정에서는 실리콘칩 표면에 원하는 패턴을 빛으로 그리는 리소그래피 공정의 정밀도가 집적도를 결정한다. 리소그래피는 빛의 파장 크기로 미세하게 그릴 수는 있지만 원자규모로 줄이는 것은 물리적으로 불가능하다. ... [이재형]