일본 정부가 지난달 한국에 대한 3개 핵심소재 수출 규제 강화 방침을 발표한 이후 처음으로 수출을 허가한 '포토 레지스터'가 삼성전자가 신청한 물량으로 확인됐다.
8일 연합뉴스에 따르면 일본이 전날 수출을 허가한 극자외선(EUV) 생산라인용 포토 레지스트는 삼성전자가 요청한 것으로 알려졌다. 다만 현재 국내에 반입되지는 않은 것으로 확인됐다.
앞서 삼성전자와 SK하이닉스는 지난달 초 일본이 고순도 불화수소(에칭가스), 플루오린 폴리이미드, 포토 레지스트 등에 대한 한국 수출 규제를 발표한 이후에도 정상적으로 수출 허가를 신청한 것으로 알려졌다.
이 가운데 삼성전자의 신청 건에 대해 일본이 규제 발표 이후 처음으로 일부 허가 결정을 내린 상황이다.
삼성은 해당 물량이 수입되면 파운드리 생산시설인 경기도 화성캠퍼스 S3 라인의 EUV 기반 최첨단 공정에 투입할 것으로 알려졌다.
한편 이낙연 국무총리는 이날 정부 서울청사에서 열린 국정현안점검조정회의에서 “일본이 어제 3대 수출규제 품목의 하나인 EUV 포토 레지스트의 한국 수출을 처음으로 허가했다”고 전했다.
임중권 기자 im9181@kukinews.com