글로벌 반도체기술 경쟁이 격화되는 가운데 나노종합기술원(이하 나노종기원)이 반도체 소부장(소제·부품·장비) 21개 핵심품목의 국산화에 성공했다.
박흥수 나노종기원장은 8일 대덕특구기자단과의 간담회에서 2021년부터 올해까지 진행한 ‘반도체 소부장 테스트베드 기술개발사업’ 성과를 발표했다.
나노종기원은 일본의 반도체 소부장 수출 차단과 중국의 반도체 굴기전략에 맞서 2021년 ‘반도체 소부장 테스트베드 기술개발사업’에 착수했다.
이 사업은 180억 원을 들여 올해까지 우리나라 반도체 소부장 핵심품목의 조기 국산화와 기술자립 강화를 위해 수요연계 양산기술 개발과 평가를 지원하는 목표로 진행됐다.
사업에 착수한 나노종기원은 국내 최초 300㎜ 반도체 소부장 테스트베드를 구축, 삼성전자와 ASML 등 글로벌 반도체기업과 협력해 1년 만에 조기 가동에 성공하며 소부장 개발기관의 상용화와 사업화 수요에 적기 대응할 수 있는 테스트베드임무를 본격 가동했다.
이를 통해 당시 국내 반도체기업의 숙원이던 12인치 테스트베드 서비스는 물론 연구개발(R&D) 결과의 양산화 및 시제품 제작, 실증평가, 수요기업 양산평가에 이르는 전주기를 지원함으로써 소부장 기술력 향상과 국산기술 사업화를 연이어 성공시켰다.
나노종기원은 기업 간 협업으로 R&D 성과의 스케일업 양산기술 개발과 수요기업 양산평가를 지원, 21개 핵심품목 양산평가와 국산화 달성과 더불어 투자목표 대비 175% 이상의 성과를 거뒀다.
아울러 24개 지원과제 중 11개 과제에서 매출이 발생했고, 생산단계로 진입한 품목은 향후 3년간 기대매출이 785억 원에 이른다.
이와 함께 R&D 성과물의 기술사업화 성공으로 국내외 투자유치 582억 원과 기업공개 2건, 고용창출 84명 등 부가가치를 창출함으로써 높은 국가 R&D 투자효과를 달성한 것으로 평가된다.
주요 성과로는 12인치 아르곤 플루오라이드(ArF) 이머전 스캐너용 초미세 포토레지스트, 10㎚ 이하 CMP용 세리라 슬러리, 5G AP전력 최적화용 실리콘 캐퍼시터, 차세대 반도체 패키징 PCB ALD & Wire ALD 장비를 국산화하고, 웨어러블 광혈류 측정 핵심센서 실리콘 광검출기 양산에 성공했다.
나노종기원은 이번 성과가 국가 R&D 지원을 통한 산학연 협력기반을 다지며 반도체 산업 전반의 기술혁신을 견인하고, 국내 반도체 생태계의 자립성장 기반을 확보해 국가 산업경쟁력 제고에 큰 역할을 할 것으로 내다봤다.
아울러 나노종기원은 반도체 핵심 소부장 국산화와 기술자립을 위해 국가 공공인프라 기능과 역할을 더욱 고도화하고 산학연 공동 활용이 가능한 실증·평가 플랫폼을 확대해 반도체는 물론 디스플레이, 첨단바이오, 전고체 이차전지 등 융복합 전략기술 R&D 생태계로 확대할 방침이다.
박흥수 나노종기원장은 “아이맥 등 세계 최고 반도체 연구기관과 협력해 초격차 기술을 견인하고 전략기술 응용분야 적용을 확대할 것”이라며 “연구자 중심의 개방형 플랫폼과 양산실증 기반을 강화하고 관련 산업과 연결하는 혁신 거점기관의 역할을 다하겠다”고 밝혔다.
한편, 나노종기원은 9일 세종 메리어트호텔에서 반도체 소부장 테스트베드 기술개발사업 지원성과 발표회를 개최한다. 이번 발표회는 그간 반도체 기술개발 및 사업화 지원성과를 공개하고, 인공지능(AI)과 EUV 노광기술, 차세대 지능형반도체 개발과 인프라 연계전략에 대한 기술혁신 방안도 모색할 예정이다.
